產(chǎn)品[
半導(dǎo)體材料氣體檢測儀
]資料
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產(chǎn)品名稱:
半導(dǎo)體材料氣體檢測儀
產(chǎn)品型號(hào):
XPS-7
產(chǎn)品展商:
日本新宇宙
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
簡單介紹
xps-7半導(dǎo)體材料氣體只要更換傳感器單元就可以檢測對象氣體;半導(dǎo)體材料氣體檢測儀XPS-7用盒式傳感器單元無需進(jìn)行檢測器校正; 半導(dǎo)體材料氣體檢測儀XPS-7大幅度削減成本和維護(hù)時(shí)間
半導(dǎo)體材料氣體檢測儀
的詳細(xì)介紹
xps-7半導(dǎo)體材料氣體 xps-7半導(dǎo)體材料氣體
檢測對象
毒氣/半導(dǎo)體材料氣體
檢測范圍
根據(jù)規(guī)格而定
檢測原理
定電位電解式
檢測方式
自動(dòng)吸引式
應(yīng)用行業(yè)
石油化工、半導(dǎo)體制造
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XPS-7對象氣體一覽表
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型號(hào)
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氣體
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F.S
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型號(hào)
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氣體
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F.S
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型號(hào)
|
氣體
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F.S
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XPS-7NH
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NH3
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100ppm
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XPS-7GH
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GeH4
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1ppm
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XPS-7HS
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H2S
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50ppm
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XPS-7SH
|
SiH4
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25ppm
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XPS-7CL
|
CL2
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5ppm
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XPS-7CO
|
CO
|
250ppm
|
|
XPS-7DC
|
SiH2CL2
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25ppm
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XPS-7CF
|
CLF3
|
1ppm
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XPS-7DS
|
Si2H6
|
25ppm
|
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XPS-7AS
|
AsH3
|
250ppm
|
XPS-7HC
|
HCL
|
25ppm
|
XPS-7F2
|
F2
|
5ppm
|
|
XPS-7PH
|
PH3
|
1ppm
|
XPS-7HF
|
HF
|
10ppm
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XPS-7OZ
|
O3
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1ppm
|
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XPS-7BH
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B2H6
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500ppm
|
XPS-7HB
|
HBr
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10ppm
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XPS-7SE
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H2Se
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250ppm
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XPS-7NO
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NO
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100ppm
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產(chǎn)品描述：半導(dǎo)體材料氣體檢測
01.產(chǎn)品特點(diǎn)
● 只需要更換傳感器單元就可以檢測各種對象氣體
● 用盒式傳感器單元無需進(jìn)**體檢測器校正
● 可以大幅度削減成本和維護(hù)時(shí)間
02.產(chǎn)品用途
● 半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等
● 在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場進(jìn)行泄漏檢測
03.對象氣體
04.產(chǎn)品參數(shù)
※1.根據(jù)氣體種類不同，滿量程也會(huì)略有不同。
※2.同一測量條件下。
※3.根據(jù)不同環(huán)境條件、使用條件、保存期限、電池廠家，有時(shí)會(huì)有不同。
※4.AC轉(zhuǎn)接器、數(shù)據(jù)記錄收集套裝、以及EC-7不屬于CE范圍。
